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FE SEM/FIB/TEM/EDS 분석

FE-SEM 분석

FE SEM
  • FE SEM
  • Resolution : 1nm@15kV
  • 관찰모드 : SE, BSE, EDS, Bias Mode
  • FE EDS 성분 분석 : 포인트분석, line 분석, Mapping 분석
  • SEM(LM)
  • SEM(HM)
  • SEM plain view
  • BSE mode

관련 분석 서비스

FIB 분석

FIB
  • Dual beam FIB
  • Mode : SE, BSE, EDS 분석, Pt gas 포함
  • Applications
    • X-section with Pt depo
    • SEM 촬영 및 SEM 파노라마 촬영 (합성사진)
    • EDS 성분 분석( 포인트분석, line 분석, Mapping 분석)
    • TEM Lamella 제작 및 in-situ pick up ( Pt depo, Cu grid, Mo Grid)
    • Al metal IC의 회로 수정
  • X-section
  • X-section 후 타일링 촬영
  • 회로 수정
  • TEM Lamella 제작

관련 분석 서비스

TEM 분석

TEM
  • TEM
  • Mode : TEM, STEM
  • EDS 분석 (point, line, Mapping 분석)
  • TEM 분석
  • STEM BF
  • STEM mode

관련 분석 서비스

EDS 분석

EDS

EDS(Energy dispersive spectroscopy)분석은 1차 전자가 시료에 조사 될 때 발생되는 특성 X선을 이용하여 원소의 성분을 분석하는 방법입니다.

  • Oxford instruments
  • SDD sensor
  • Spectrum/ 정성분석
  • Spectrum : 정량분석
Mapping 분석

관련 분석 서비스